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中微公司申请分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备专利,该...金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理设备“的专利，公开号CN202211559180.8,申请日期为2022年12月。专利摘要显示，本发明公开一种分气转接环、托盘旋转机构及半导体处理等会说。
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中微公司取得一种托盘搬运装置及气相沉积系统专利,有效避免颗粒...金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备(上海)股份有限公司取得一项名为“一种托盘搬运装置及气相沉积系统“授权公告号CN221092739U,申请日期为2023年11月。专利摘要显示，本实用新型公开一种托盘搬运装置及气相沉积系统，所述托盘搬运装置用于好了吧！
中微公司申请半导体处理设备及其晶圆托盘组件专利,使晶圆托盘组件...金融界2024年6月7日消息，天眼查知识产权信息显示，中微半导体设备(上海)股份有限公司申请一项名为“半导体处理设备及其晶圆托盘组件“公开号CN202211558797.8,申请日期为2022年12月。专利摘要显示，本发明公开一种半导体处理设备及其晶圆托盘组件，在半导体处理设备的反应说完了。
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